真空球閥

真空球閥

真空球閥是指工作壓力低于標準大氣壓的，形成一定真空的球閥。

廣泛應用于半導體行業！

設計和特點

適用真空范圍：0.6*10~ 1.3*10pa。

材質：304/316L，1.4301/1.4404

連接：法蘭

可裝配氣動執行器與電動執行器

無需拆卸管道即可拆卸閥門維修

操縱扭矩小

采用進口密封件：PTFE FDA 177.2600

工作原理

通過90°旋轉手柄，帶動有貫通腔的精準制造的球體，以便開啟或關閉閥門，從而實現介質流量。